SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
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產(chǎn)品名稱: SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
產(chǎn)品型號: -
產(chǎn)品展商: 日本Panasonic松下
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、
下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，
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SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
的詳細介紹
SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
因此，對于使用單波長激光的傳感器，
可能會因光全被吸收而無法檢測。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
實現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
通過反射光位置而非反射光量進行檢測。
因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
以往使用激光的激光式定位傳感器，
SUNX晶圓定位傳感器,原裝**神視傳感器
激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，
吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
檢測物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對應(yīng)檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
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